罗茨真空泵的压缩比

气体循环冷却罗茨泵、前级泵抽速、压缩比抽速、压缩比是罗茨泵的特征性能数据。理论抽速 Sth = S0是泵在无反压力下置换的体积流量。在无气体置换（入口法兰关闭）操作时的压缩比 K0 取决于出口压力 p2。抽速范围从 200 m3 · h -1 到几千 m3 · h-1。典型的 K0 值在 10 和 75之间。

罗茨真空泵压缩比受到两方面的不利影响：

1.回流到活塞和壳体之间的间隙

2.通过活塞表面吸附而沉积在出口侧并在转向吸入侧后又重新解吸的气体。在出口压力为 10-2 至 1 hPa 的情况下，分子流在密封间隙中占主导地位，由于其低电导率，这导致少量回流。然而，通过吸附被吸回的气体体积，这与泵送的气体体积相比相对较高，降低了压缩比。

在 1 至 10 hPa 范围内，K0 是最高的，因为分子流因泵密封间隙的低入口压力而仍然占主导地位，因此回流较低。由于通过吸附的气体输送不是压力的作用，它远没有通过抽速输送的压力比例气体流量重要。

在压力超过 10 hPa 时，间隙中出现层流且间隙电导率显著增加，这导致压缩比下降。这种影响在气冷罗茨泵中特别明显，该泵实现的压缩比仅约为 K0 = 10。

间隙宽度对压缩比具有重大影响。然而，由于活塞与壳体不同的热膨胀，它们不得低于一定的最小值，以避免转子和定子接触。

由于其低压缩比，罗茨真空泵必须始终作为泵组合进行操作，用于产生真空。它们可实现的最终压力将是所选前级泵极限压力产生的结果。由于通过吸附的气体输送，在范围低于 10-4hPa 下使用罗茨泵不再可行。具有各种前级泵的泵站的抽速和极限压力表现如好凯德真空科技下图所示。该曲线清楚地表明，这种泵组合的抽速上升了 8 倍，其极限压力相对于前级泵下降了 15 倍。