能表示进口真空泵的三个主要参数

近年来，真空泵在各个工业部门中获得了广泛的应用。首先应指出的是，在生产电子、光电管、X射线管、白炽灯、汞弧管和气体放电管等方面特别需要进口真空泵。真空融化和焊接炉、大型金属壳汞弧整流器、高伏示波器、电子显微镜、阴极溅射装置、真空涂覆装置、PCB、木工制造、吸塑包装、光电制造、真空镀膜及各个科学和生产部门的许多其他设备等也须用快速真空泵进行排气。

进口真空泵主要分为以下两类：

（1）容积旋转式油泵，其作用原理是以泵的转动部分机型地排除充满工作容器内的其他题为基础。

（2）蒸汽扩散真空泵，其作用原理是以工作液蒸汽流的排气作用为基础。

任何真空泵好凯德真空科技都可用以下三个主要参数表示：

1.极限压强或极限真空--系指某种泵可以达到的最低压强。

一般说来，极限压强是神域气体和工作液蒸汽分压强的综合。但是，由于工作也的性质与泵本身质量没有直接关系，故作为泵参数的极限真空一般仅按剩余气体的分压强来估计，而且工作液蒸汽的分压枪用冷凝不及其可降低到最小值。

大多数旋转式油泵的极限压强通常能达到10-3毫米水银柱，并取决于下列因素。

泵内有无杂质、粘度及溶解于油内的比例

被抽气体在油内的溶解度

有害空间的大小

外壳和轴承的密封度。

高真空蒸汽扩散泵的极限压强主要不是取决于泵的结构，而是取决于工作液的性质，首先取决于：在泵的冷凝补集器所造成的温度下工作也的蒸汽压强。蒸汽扩散泵一个用的经验证明，极限压强值取决于工作液的纯度及溶解于油中的杂质和气体的数量。

如果允许将油与大气接触，那么，蒸汽油泵的极限压强值可以大大地增加，因为具有高蒸汽压强的挥发性产物。

由于现代蒸汽扩散泵达到的极限压强极低，故泵壁及整个真空系统的密封度和加工的精度对其工作来说具有重大意义。 

2.最大排气压强，指泵的排气管极限最大压强值，超过此值时会造成进气管逆流。

旋转式油泵的最大排气压强略高于大气压

蒸汽扩散泵排气压强比旋转式泵低得多，一次为了保证蒸汽扩散泵正常工作，必须使排气管与旋转式泵的进气管串联，旋转式泵能产生所需的预真空度。只有当被抽气镇装置内的压强地域泵的最大排气压强时，才允许开动蒸汽扩散泵进行抽泣。

3.作用速率，系指单位时间内以压强通过泵进气管界面的气体体积。泵的作用速率通常用P来表示，表示管截面的气体体积。旋转式泵的作用速率取决于转子每转一次泵的排除的气体体积和转子旋转的速度。这种进口真空泵的作用速率与压强十分有关。

大多数高真空蒸汽扩散泵的作用速率主要取决于进气管截面面积，一次，实际上在很宽的范围内并不取决于被抽气体的压力。

每分钟的转数、电动机功率、油和油的耗量等是旋转式泵的辅助参数。

除加热器功率和水耗量外，蒸汽扩散泵的辅助参数还有所谓比特性，它表示为获得一秒每升的抽气速率，泵内所消耗的功率值，以及与进气孔单位面积有关的抽气速率

这两种比特性可以说明蒸汽扩散泵的各种结构的完善程度。热效率也是高真空的主要参数。